仪器简介： 

原理：扫描电子显微镜是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态的一种现代分析仪器，即用极狭窄的电子束扫描样品，通过电子束与样品之间的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像，进而获得样品自身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。 

扫描电镜主要用于观察材料表面的微细形貌、断口及内部组织，并对材料表面微区成分进行定性和定量分析，主要用途如下： 

无机或有机固体材料断口、表面形貌、变形层等的观察和机理研究 

金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定 

观察陶瓷、混凝土、生物、高分子、矿物、纤维等无机或有机固体材料表面的形貌 

微型加工的表征和分析集成电路图形及断面尺寸，PN结位置，结区缺陷 

金属镀层厚度及各种固体材料膜层厚度的测定 

研究晶体的生长过程、相变、缺陷、无机或有机固体材料的粒度观察和分析 

进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析